5320A是一款高精度三軸向MEMS加速度計，采用變電容MEMS敏感元件，可同時(shí)輸出三個(gè)軸向的加速度信號，并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設計，使得MEMS敏感元件可以耐受很高的沖擊。具有極高的溫度穩定性和精度，專(zhuān)門(mén)設計用于航空航天和汽車(chē)領(lǐng)域中的低振動(dòng)水平的加速度測量。典型應用包括汽車(chē)碰撞后整體車(chē)身三軸向運動(dòng)測量環(huán)境的振動(dòng)試驗。


主要產(chǎn)品特點(diǎn)：1.MEMS加速度計。2.零頻直流響應輸出。3.多量程可選。4.精度高。5.三軸測量


主要應用領(lǐng)域：高鐵、傾角測量，飛行試驗


主要技術(shù)指標：
1.量程（±g）：2，5，10，50，200，
2.靈敏度（mV/g）：1000，400，200，40，10
3.頻率響應（Hz，±3dB）：0-1000
4.沖擊極限（±g）：5000
5.工作溫度范圍（℃）：-40-85
6.重量（克）：65
7.尺寸（mm）：28×28×23
8.外殼材料：陽(yáng)極氧化鋁
9.輸出接口：5pin m12