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5123A是一款高精度MEMS加速度計，采用特殊的電容微傳感器技術(shù)，單軸向輸出，基于電容原理的極距變化型的電容傳感器，低頻響應從0Hz開(kāi)始，具
5213A是一款高精度雙軸向MEMS加速度計，采用變電容MEMS敏感元件，可同時(shí)輸出兩個(gè)軸向的加速度信號，并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設計，使得M
5214C是一款高精度雙軸向MEMS加速度計，采用特殊的電容微傳感器技術(shù)，同時(shí)輸出兩個(gè)軸向加速度，基于電容原理的極距變化型的電容傳感器，低
5320A是一款高精度三軸向MEMS加速度計，采用變電容MEMS敏感元件，可同時(shí)輸出三個(gè)軸向的加速度信號，并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設計，使得M
5323A是一款高精度三軸向MEMS加速度計，采用變電容MEMS敏感元件，可同時(shí)輸出兩個(gè)軸向的加速度信號，并具有氣阻尼和過(guò)量程阻止器設計，使得M
5125A是一款高精度MEMS加速度計，采用電容微傳感器技術(shù)，單軸向輸出，基于電容原理的極距變化型的電容傳感器，低頻響應從0Hz開(kāi)始，具有測量
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