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7110A是一款全橋結構設計的壓阻式MEMS加速度計,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,一整塊單晶硅通過(guò)刻蝕成型技術(shù),在狹小空間內形成一個(gè)全橋電路。
7111A是一款全橋結構設計的壓阻式MEMS加速度計,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整塊單晶硅通過(guò)刻蝕成型技術(shù)加工而成,包含慣性質(zhì)量
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